地质所大陆构造与动力学微区实验室引进的“高分辨热场发射SEM-EDS-CL”和“高分辨热场发射岩石组构分析仪（EBSD）”投入共享使用

近日，大陆构造与动力学微区实验室新引进的“高分辨热场发射SEM-EDS-CL”和“高分辨热场发射岩石组构分析仪（EBSD）”两台大型仪器顺利通过验收，并投入正常运转。专家组实地考察了仪器运行情况，认真听取了设备验收汇报，仔细核对了测试数据，一致认为两台大型仪器的技术指标达到招标合同要求，同意通过验收。两台设备的引进和应用，将有力提升地质所的相关科研研究成果和测试水平，主要可以提供岩石矿物的组成、构造、常量成分、微量成分和矿物定量波谱等多方面的测试信息。

“高分辨热场发射SEM-EDS-CL”仪器系统由场发射扫描电子显微镜、CL阴极发光仪和X射线能谱仪组成。具有精确真实的纳米尺度信息、卓越的高电压和低电压衬度、100V以下的高分辨成像、快速分析、使用低真空对大多数带电或污染样品进行超高分辨率研究等基本特征，是全球唯一真正的高分辨率低真空场发射扫描电子显微镜（FESEM）。CL阴极发光系统型号为MonoCL4，可获取高分辨电子图像，并进行矿物的CL图谱的定量分析。配备的X射线能谱仪型号为X-Max（50mm²），是牛津仪器（Oxford）生产的大面积电制冷能谱探测系统，仪器探头有效工作面积为50mm²，可以在高图像分辨率的条件下同时进行快速的成分分析和面扫描，具有计数率精确度高、准确自动定量分析、灵敏度高、探头面积大、分辨率高等特征，可以针对纳米尺度颗粒或复杂样品进行有效鉴别和分析，几乎不会对样品产生损伤或污染。

“高分辨热场发射岩石组构分析仪（EBSD）”仪器由FEI Quanta 450 FEG场发射扫描电镜、Oxford Nordlys F+ EBSD高速探测器、Oxford X-Max 50电制冷能谱探测器组成。配备X、Y、Z、T(-5°-70°)、R(0-360°)五轴马达台、高真空二次电子探头和背散射探头、低真空LFD二次电子探头、环扫模式GSED二次电子探头，可实现各类样品的扫描电镜成像：常规喷镀样品的高真空高电压成像；不喷镀样品的低真空成像；绝缘样品、含水样品、动态化学反应过程等环境扫描模式（ESEM）成像等。配备耐高温磷屏探测器、高速型CCD相机、AztecSynergy—EDS和EBSD一体化采集系统：可进行更精彩的矿物显微结构分析：晶体取向、优选方位、颗粒大小统计、颗粒边界取向差分析、滑移系鉴定以及相分析等；最新的AztecSynergy系统，实现了EDS和EBSD的同步采集，可同时获取晶体结构和矿物成分信息；Large Area Mapping模块可实现EBSD和EDS的大面积拼接构图。能快速、同时完成样品微区内Be-U所有元素的检测，可进行定性、半定量成分分析；新的AztecSynergy一体化系统，也可实现EDS成分面扫描的大面积拼接构图。

“仪器验收后运行一个月以来，运行状态非常良好。仪器供社会各单位共享使用，欢迎有仪器需求的单位和我们预约实验。